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主要仪器

 

表面形貌观察及分析
仪器图片 仪器名称 应用
3D激光共聚焦显微镜 3D激光共聚焦显微镜 表面轮廓测量,非接触式粗糙度,3D测量,自动宽度测量,比较测量
原子力显微镜AFM 原子力显微镜AFM 主要用于分析薄膜表面形貌观察(原子级,纳米级),表面粗糙度分析
电子扫描显微镜/X射线能谱仪 电子扫描显微镜/X射线能谱仪 用于分析表面物质的元素组成(定性、半定量);
分析深度:1微米左右
傅里叶变换显微红外光谱仪 傅里叶变换显微红外光谱仪 用于有机物的主成分分析,显微红外功能可用于表面有机污染物的主成分分析
AES AES 主要用于表面微量组成元素的分析(定性、半定量);
分析深度:10纳米左右
TOF-SIMS TOF-SIMS 可对包括氢在内的所有元素及同位素进行表面质谱、成像、深度剖析。
分析深度:2纳米左右
X射线荧光测厚仪 X射线荧光测厚仪 非破坏,非接触,多层结构镀层厚度测量

 

 

无损结构分析
仪器图片 仪器名称 应用
X射线透视系统 X射线透视系统 内部缺陷透视;加速电压£110KV, 分辨率250nm
断层扫描分析仪 断层扫描分析仪 无损缺陷检测、几何测量技术、CAD数模对比、逆向工程
扫描声学显微镜 扫描声学显微镜 频率范围:1~500MHz;扫描范围:1×1mm~100×100mm;扫描速度:360mm/秒;扫描模式:A, B,C,D, G, X, 3D;非破坏 性失效分析,广泛应用于半导体工业、材料测试、生命科学等领域

 

 

力学性能测试
仪器图片 仪器名称 应用
纳米压痕仪 纳米压痕仪 载荷范围:0.025 - 50 Mn;载荷分辨率:2.5 nN;最大压入深度:50 μm;位移分辨率:0.0005 nm
显微维氏硬度计 显微维氏硬度计 金属显微维氏硬度测试
洛氏硬度计 洛氏硬度计 洛氏硬度测试
布氏硬度计 布氏硬度计 布式硬度测试
邵氏硬度计 邵氏硬度计 橡胶或塑料邵氏硬度测试
铅笔硬度试验仪 铅笔硬度试验仪 色漆、清漆的铅笔硬度测试
万能试验机 万能试验机 塑料拉伸、弯曲、压缩、橡胶撕裂、胶带剥离测试
万能试验机 万能试验机 金属拉伸、弯曲、压缩测试
摆捶冲击试验机 摆捶冲击试验机 塑料悬臂梁冲击强度、简支梁冲击强度
密度测试仪 密度测试仪 利用阿基米德原理排水法进行无孔隙固体材料的密度测试

 

 

热参数测试
仪器图片 仪器名称 应用
激光导热系数测试仪 激光导热系数测试仪 热扩散系数,比热容,导热系数
稳态热流法导热系数测试仪 稳态热流法导热系数测试仪 导热系数、热阻
DSC DSC 熔点、结晶温度、比热容、热焓等
TGA TGA 主要用于分析聚合物的裂解温度
TMA TMA 主要用于分析聚合物的热膨胀系数(CTE),玻璃化转变温度(Tg)等
DMA DMA 对固体试样施以弯曲、拉伸、剪切等作用力,然后根据其变形量以及回应延迟计算试样的弹性模数和阻尼比
热变形温度、维卡软化温度测试仪 热变形温度、维卡软化温度测试仪 塑料或硬橡胶热变形温度、维卡软化温度
脆化试验机 脆化试验机 脆化温度
熔体流动速率试验机 熔体流动速率试验机 熔融指数测试:熔体质量流动速率或熔体体积流动速率
燃烧特性测试仪 燃烧特性测试仪 阻燃性能如UL94垂直燃烧测试(V-0,V-1,V-2,VTM-0,VTM-1,VTM-2)、水平燃烧测试(HB)、泡沫水平燃烧测试(HF-1,HF-2,HBF)
烘箱 烘箱 对样品干燥处理,或进行热老化、热应力测试等,模拟样品经过多年使用后的老化情况
马弗炉 马弗炉 玻纤含量,无机助剂含量等

 

 

成分分析
仪器图片 仪器名称 应用
电感耦合等离子体发射光谱仪 电感耦合等离子体发射光谱仪 主要应用于分析金属材料合金成分
碳硫分析仪 碳硫分析仪 主要应用分析金属材料中C和S含量
电位滴定仪 电位滴定仪 主要应用于分析铜合金中的铜含量
电位电解仪 电位电解仪 主要应用于测试银合金中Ag含量、有铅焊锡中Sn含量

 

 

显微结构分析
仪器图片 仪器名称 应用
真空冷镶机 真空冷镶机 样品镶嵌制备
自动热镶嵌机 自动热镶嵌机 样品镶嵌制备
金刚石切割机 金刚石切割机 电子产品样品切割
砂轮切割机 砂轮切割机 金属材料样品切割
研磨/抛光机 研磨/抛光机 样品研磨抛光
电解抛光机 电解抛光机 样品制备
体式显微镜 体式显微镜 主要用于样品表面低倍观察、拍照,宏观金相分析,染色实验观察等
金相显微镜 金相显微镜 主要用于切片分析、金属材料金相组织分析观察
清洁度测量系统 清洁度测量系统 主要用于清洁系统颗粒物残留的数量统计及尺寸测量。
激光粒度分析仪 激光粒度分析仪 粉末颗粒的粒度分布
XRD XRD 1. 粉末样品的物相定性与定量分析
2. 计算结晶化度、晶粒大小
3. 确定晶系、晶粒大小与畸变
4. 结构分析

 

 

电参数及元器件测试
仪器图片 仪器名称 应用
双显测量万用表 双显测量万用表 精度:六位半
示波器 示波器 200MHz, 2GS/s
精密电感、电容、电阻测试仪 精密电感、电容、电阻测试仪 L、C、R测试;频率20Hz至2MHz, 基本精度为0.05%/td>
半导体参数测试仪 半导体参数测试仪 半导体参数测试;电压测量范围:最小±1Μv,最大210V,电流测量范围:最小±0.1fA,最大:±1A。
高阻仪 高阻仪 用于表面绝缘电阻、体积电阻测试,如助焊剂的表面绝缘电阻(SIR)测试
电压击穿试验仪 电压击穿试验仪 塑料、PCB板等耐电压、击穿电压、介电强度测试
数字电导率仪 数字电导率仪 金属的电导率、导电率测试
阻抗分析仪 阻抗分析仪 介电常数和介质损耗角正切
电压击穿试验仪 电压击穿试验仪 击穿电压测试
开封机 开封机 各种塑料封装形式开封
探针台 探针台 用于窄间距间定位
RIE RIE IC去层
EMMI EMMI 用于IC失效点定位
FIB FIB 用于IC线路修改,显微剖面制作


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