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俄歇电子能谱（AES）凭借其纳米级表面敏感性和元素深度剖析能力，为高端制造业提供了关键的表面成分解决方案。美信检测提供专业的检测技术服务，为产品的研发和生产提供了重要反馈，有助于推动持续改进和创新，提高产品的市场竞争力和附加值。
| 项目概述
俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES）是一种高精度表面成分分析技术，通过检测材料受激发射的俄歇电子，实现对表面元素组成的定性与定量分析。其纳米级空间分辨率和超高灵敏度，使其成为微电子、材料科学及失效分析领域的核心表征手段。
| 项目目的
通过元素含量变化精准表征材料表面状态，可应用于分析表面污染、测量氧化膜厚度及界面成分分布等微观特征，为材料失效分析和工艺优化提供关键数据。
| 试验范围
| 服务产品/领域
半导体制造：芯片表面污染、焊点失效分析。
材料研发：金属氧化、涂层/薄膜性能评价。
失效分析：断口成分、异物溯源。
新能源：电池电极表面改性研究。
| 项目优势
1、超高空间分辨率：>50 nm，适用于微电路、纳米材料分析。
2、深度剖析能力：分辨率达5 nm，可表征薄膜/多层膜结构。
3、全元素覆盖：支持1–94号元素（U）检测，氢（H）和氦（He）除外。
4、高效溅射速率：18.56 nm/min，提升深层分析效率。
美信检测实验室
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