深圳市美信检测技术股份有限公司

玻璃钝化层完整性

玻璃钝化层完整性检查是通过评估SiO₂、Si₃N₄等玻璃态薄膜的连续性、致密性及缺陷状态，确保钝化层能有效隔离水汽、离子等污染物并抑制表面漏电，从而直接保障半导体器件的长期可靠性，避免因钝化层失效引发的性能退化或功能故障。

美信检测可提供专业的检测服务，快速响应客户需求，提供一站式高效检测服务。

玻璃钝化层完整性

| 项目概述

玻璃钝化层（Glass Passivation Layer）完整性检查是通过显微观察、电性能测试或特殊检测技术，评估半导体器件表面玻璃钝化层（通常为 SiO₂、Si₃N₄等玻璃态薄膜）的连续性、致密性及缺陷状态的试验。玻璃钝化层作为芯片表面的保护层，可隔离外界污染物（如水汽、离子）并抑制表面漏电，其完整性直接影响器件的可靠性。

| 测试目的

1、缺陷筛查：检测玻璃钝化层的物理缺陷（如裂纹、针孔、剥落）和结构异常，避免因保护层失效导致器件短路或腐蚀。

2、电性能验证：确认钝化层的绝缘性和抗击穿能力，防止表面漏电或电场集中引发的器件失效。

3、工艺评估：验证钝化层沉积工艺（如 PECVD、LPCVD）的均匀性和致密性，优化薄膜生长参数（如温度、气体配比）。

4、可靠性预测：评估钝化层在环境应力（如高温、潮湿、辐射）下的稳定性，预测器件长期使用中的失效风险。

5、失效分析：当器件出现表面漏电或腐蚀失效时，通过钝化层完整性检查定位根因（如薄膜沉积缺陷、应力开裂）。

| 试验标准

GJB 4027B-2021、MIL-STD-883H、GJB 548C-2021。

| 服务产品/领域

功率半导体器件、集成电路与芯片、传感器与光电器件、军工与航天电子、汽车电子与能源领域。

| 美信优势

1、专业团队：拥有多名经验丰富的检测工程师和技术专家。

2、先进设备：配备国际领先的检测设备，确保检测结果的准确性和可靠性。

3、缺陷精准定位：可检测从微米级裂纹到纳米级针孔的全尺度缺陷，提升检测分辨率。

4、高效服务：快速响应客户需求，提供一站式高效检测服务。

5、权威认证：实验室通过ISO/IEC 17025认证，检测报告具有国际公信力。

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