
微光显微镜(Emission Microscope,EMMI)是用来做故障点定位、寻找亮点、热点(Hot Spot)的工具,通过测量样品加偏压所释放出来的光子来定位故障点。EMMI可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流,包括闸极氧化层缺陷(Gate oxide defects)、静电放电破坏(ESD Failure)、闩锁效应(Latch Up)、漏电(Leakage)、接面漏电(Junction Leakage) 、顺向偏压(Forward Bias)及在饱和区域操作的晶体管。
| 项目概述
微光显微镜(Emission Microscope,EMMI)是用来做故障点定位、寻找亮点、热点(Hot Spot)的工具,通过测量样品加偏压所释放出来的光子来定位故障点。EMMI可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流,包括闸极氧化层缺陷(Gate oxide defects)、静电放电破坏(ESD Failure)、闩锁效应(Latch Up)、漏电(Leakage)、接面漏电(Junction Leakage) 、顺向偏压(Forward Bias)及在饱和区域操作的晶体管。
| 测试目的
通过EMMI定位技术,快速准确地找到样品中的热点或亮点位置,进而分析缺陷产生的原因。这一技术不仅提高了故障点定位的效率,还为后续的失效分析提供了有力支持,有助于缩短产品研发周期,降低生产成本。
| 服务产品/领域
1、半导体材料:检测材料中的缺陷和杂质。
2、器件缺陷检测:识别并定位器件中的故障点。
3、集成电路:分析集成电路中的失效原因。
4、材料科学:研究材料的光电特性和失效机制。
5、纳米技术:在纳米尺度上定位和分析故障点。
| 项目优势
1、灵敏度高:能够捕捉到微弱的光子信号,确保故障点的精确定位。
2、波长探测范围广:覆盖近红外波段,提供更广泛的探测能力。
3、非破坏性检测:无需对样品进行破坏性处理,保护了样品的完整性。
4、广泛应用领域:适用于半导体材料、器件缺陷检测、集成电路、材料科学及纳米技术等多个领域。
| 美信优势
1、专业团队:拥有多名经验丰富的检测工程师和技术专家。
2、先进设备:配备国际领先的检测设备,确保检测结果的准确性和可靠性。
3、高效服务:快速响应客户需求,提供一站式高效检测服务。
4、权威认证:实验室通过ISO/IEC 17025认证,检测报告具有国际公信力。